機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)早在二十年前已經(jīng)于半導(dǎo)體工業(yè)上廣泛應(yīng)用,半導(dǎo)體、電子設(shè)備檢測(cè)是機(jī)器視覺(jué)技術(shù)應(yīng)用的發(fā)源地,同時(shí)也是機(jī)器視覺(jué)應(yīng)用的一個(gè)巨大市場(chǎng)。半導(dǎo)體、電子制造業(yè)每一次技術(shù)上的突破如:晶圓越做越大,而內(nèi)部線路越做越細(xì),向超細(xì)間距式器件挺進(jìn);連接器體積越來(lái)越小,每分鐘生產(chǎn)線上需要檢測(cè)、測(cè)量器件的數(shù)量越來(lái)越多;都伴隨著新一輪半導(dǎo)體、電子生產(chǎn)檢測(cè)設(shè)備的誕生。隨之洐生更優(yōu)的質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)需求,用于提升生產(chǎn)效率及良品率,進(jìn)而促使機(jī)器視覺(jué)市場(chǎng)不斷發(fā)展壯大。機(jī)器視覺(jué)技術(shù)本身也隨著半導(dǎo)體、電子、光學(xué)、自動(dòng)化等技術(shù)的發(fā)展而不斷完善、發(fā)展。
機(jī)器視覺(jué)在半導(dǎo)體中有哪些應(yīng)用呢?下面就由樂(lè)視自動(dòng)化為大家介紹,半導(dǎo)體中常見(jiàn)的機(jī)器視覺(jué)應(yīng)用案例。
※表面識(shí)別/可控性檢測(cè)
※測(cè)量/對(duì)位
※分類(lèi)篩選
一、表面識(shí)別/可控性檢測(cè)
在半導(dǎo)體行業(yè)中,為使產(chǎn)品具有可追溯性,所有的元件都有識(shí)別碼,通過(guò)識(shí)別碼可追溯相應(yīng)的生產(chǎn)信息,機(jī)器視覺(jué)在檢測(cè)半導(dǎo)體表面字符、ID碼、二維碼、Mark點(diǎn)等方面發(fā)揮重要作用。
當(dāng)然對(duì)于表面并非只有識(shí)別內(nèi)容,精度越高的產(chǎn)品,對(duì)于元件自身的缺陷容忍度越小。所以表面缺陷判斷也使得機(jī)器視覺(jué)在行業(yè)內(nèi)不可缺少。
◆晶圓字符二維碼識(shí)別
樣品圖
使用光源:同軸光源
特點(diǎn):
1、晶圓反光,同軸對(duì)反光平面成像均勻
2、亮度高,能兼容二維碼和字符多種特征3、同軸光光路垂直性好,對(duì)表面檢測(cè)更具優(yōu)勢(shì)
◆晶圓表面劃傷
樣品圖
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使用光源:環(huán)形光源
特點(diǎn):
1、晶圓片表面缺陷方向多樣化,磨砂表面,環(huán)形低角度突顯出各個(gè)方向的缺陷;
2、高密度LED陣列,亮度高;
3、安裝方便,不占用視覺(jué)系統(tǒng)的空間。
二、測(cè)量/對(duì)位
在晶圓生產(chǎn)工藝的整個(gè)過(guò)程中,視覺(jué)定位發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。因?yàn)闇y(cè)量/對(duì)位不準(zhǔn)會(huì)損壞很多晶圓,因此表現(xiàn)不佳的視覺(jué)系統(tǒng)會(huì)大大增加半導(dǎo)體設(shè)備公司的生產(chǎn)成本。
◆晶元對(duì)位
樣品圖
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使用光源:組合光源
特點(diǎn):
1、晶片具有高反光性,利用圓頂光的均勻性,凸顯定位特征點(diǎn);
2、由于圓頂中間開(kāi)孔有陰影,使用同軸補(bǔ)光,充分解決暗影區(qū);3、組合光均勻性好,結(jié)構(gòu)架設(shè)方便。
◆相機(jī)芯片測(cè)量
樣品圖
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使用光源:高亮點(diǎn)光源
特點(diǎn):
1、相機(jī)芯片特殊才是,利用利用垂直光,芯片輪廓清晰呈現(xiàn);
2、高亮度、高均勻、高性價(jià)比好,照度可達(dá)到40-100萬(wàn)LUX;
3、材質(zhì)輕便,散熱性好。
三、分類(lèi)篩選
半導(dǎo)體在制造過(guò)程中要求高速、高效、精準(zhǔn),其中分類(lèi)篩選是半導(dǎo)體制造眾多工序中都涉及到的重要環(huán)節(jié)。機(jī)器視覺(jué)在表面缺陷檢測(cè)、分類(lèi)、正反篩選,無(wú)序抓取識(shí)別等應(yīng)用中都發(fā)揮了重要的作用。
◆貼片電阻缺陷分類(lèi)
樣品圖
使用光源:多角度環(huán)形光源
特點(diǎn):
1、電阻小,缺陷位置不確定,使用多色能清晰呈現(xiàn)缺陷位置;
2、響應(yīng)速度快,亮度高,適應(yīng)高速響應(yīng);
3、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊,方便安裝。
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